电子行业用5T/H超纯水设备
超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
一、5T/H超纯水设备产水指标
电阻率@25℃：大于等于10MΩ·cm
PH值：6.6-7.4
细菌总数：<9个/ml
微粒(>0.22µm )：≤500个/L
总有机碳：≤100ppb
二、5T/H超纯水设备工艺
原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软水器→一级RO主机→一级纯水箱→二级RO主机→二级纯水箱→增压泵→紫外线杀菌器→膜滤器→EDI系统→TOC脱除器+脱气膜+抛光混床→终端膜滤器
三、5T/H超纯水设备组成
1、原水箱
原水箱主要起到缓冲和调节进水量的作用，防止进水水量和水压不稳定对设备造成的损坏和影响。
2、原水泵
原水泵从原水箱取水，对水箱内的水增压，达到后续设备的运行的压力和水量的要求。
3、石英砂过滤器
石英砂过滤器中通过装填不同粒径的高纯度的石英砂对原水中悬浮物、颗粒物及胶体等物质进行过滤，同时对原水中的浊度起到降低作用。
4、活性炭过滤器
活性炭过滤器系统是利用活性炭吸附机理，引起吸附的主要原因在于溶质对水的疏水特性和溶质对固体颗粒的高度亲和力�；钚蕴抗似髂芄晃剿械挠谢�，胶体和余氯等。去除各种溶解性的有机物�；鼓苋コ械某粑�、色度、以及残留的浊度。
5、保安过滤器
在RO装置之前设置保安过滤器，目的是防止水中的大颗粒物进入反渗透膜，损坏反渗透膜，确保RO的正常运行。
6、立式高压泵
反渗透的使用过程中，水的流向和运动是逆自然渗透的，要改变这种逆自然的渗透，必须给液体一个动力，使它改变自然渗透过程中，淡水向浓水方向运动，盐份向淡水方向渗透的规律，而提高这个动力有效的措施是增加外界压力，高压泵为反渗透膜组提供足够的进水压力，维持反渗透膜的正常运行。
7、反渗透系统
反渗透(RO)系统利用反向渗透原理，主要去除水中溶解盐类，同时去除一些大分子和预处理未去除的小颗粒等。其功能是对经过预处理的产水进行脱盐。
8、RO产水箱
RO产水箱主要起到缓冲和调节水量的作用。
9、紫外线杀菌器
紫外线杀菌器，其优点为辐照强度稳定性高，杀菌寿命长达9000小时，高透过率石英玻璃管，透光率≥87%，单价也比同类产品适中，杀菌寿命达8000小时后，其辐照强度在253.7um保持稳定不变，比国内同类产品辐照强度稳定不变。与国外同类产品相比杀菌强度提高了18%-27%，杀菌率能够达到99.99%。
10、EDI系统
一般自然水源中存在钠、钙、镁、氯化物、硝酸盐、碳酸氢盐等溶解物，这些化合物由带负电荷的阴离子和带正电荷的阳离子组成。通过反渗透(RO)的处理，95%～99%以上的离子可以被去除，RO纯水(EDI给水)电阻率的一般范围是0.05～1.0MΩ.cm，即电导率的范围为20～1μS/cm。根据应用的情况，去离子水电阻率的范围一般为5～18MΩ.cm。另外，原水中也可能包括其它微量元素、溶解的气体(例如CO2)和一些弱电解质(例如硼、二氧化硅)，这些杂质在工业除盐水中必须被除掉，但是反渗透过程对于这些杂质的清除效果较差。因此，EDI的作用就是通过除去电解质(包括弱电解质)的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ.cm提高到5～16MΩ.cm。
11、TOC脱除器
其杀菌原理与紫外线杀菌器相同，但是TOC脱除器使用的是185nm的紫外线，相比于253.7nm的紫外线具有更高的能量，可以深度降解水源中的TOC，最小可控制产水TOC在5PPb以内。
四、5T/H超纯水设备优势
设备主要采用EDI和反渗透技术，产水可以达到15兆欧以上，出水水质完全符合半电子厂的用水标准。设备具有结构合理简单、连续运行、操作方便、、自动化程度高、使用寿命长、自动化运行、占地面积小、出水水质高等优势。
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